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冷水機組當前位置:首頁>產品中心>低溫螺桿式冷水機組
新材料用螺桿式低溫制冷機組應用場景
碳纖維復合材料生產
應用環節:預氧化爐溫度控制、碳化爐冷卻
溫度需求:-30℃~+300℃(多溫區精確控制)
特殊要求:
防爆設計(有機溶劑環境)
耐腐蝕換熱器(酸性氣體處理)
半導體薄膜材料沉積
工藝控制點:
CVD反應器冷卻(-40℃~+80℃)
濺射靶材低溫冷卻
關鍵指標:
溫度波動≤±0.1℃
無振動設計(避免薄膜缺陷)
形狀記憶合金處理
相變溫度控制:-50℃~+150℃